系統(tǒng)應用中，被抽取的氣體不單單包括應用工藝中產生的各種氣體，還包括的系統(tǒng)中原有的大氣空氣

等，那總體來說都有哪些呢？

1、真空系統(tǒng)工藝過程中產生的氣體

它包括工藝過程中材料放出的氣體以及工藝需要而引入的氣體，同時真空系統(tǒng)中液體或固體蒸發(fā)的氣體

也包含其中。不同的工藝過程以及不同的被處理材料，這部分氣體的量的計算都是不同的。

2、真空系統(tǒng)內原本存在的大氣氣體

真空系統(tǒng)中真空容器室、真空管路等，這些原本就含有一定量的大氣氣體成分，在抽氣初期，它們是真

空系統(tǒng)抽氣的主要氣體負荷，也是被系統(tǒng)z*早抽走的。

3、真空系統(tǒng)中的泄漏氣體

泄漏氣體包括大氣通過真空密封的連接處以及各種漏隙通道泄漏進入真空系統(tǒng)內部的氣體。對于確定的

真空系統(tǒng)來說，泄漏的氣體量是一個常數(shù)。不同的真空系統(tǒng)應用、不同的極限壓力，對泄漏氣體的量也

有嚴格的限制。

4、真空系統(tǒng)中各種材料表面解吸釋放出來的氣體

常壓下，真空系統(tǒng)中的材料表面會吸附、溶解部分氣體。在負壓狀態(tài)下，這部分氣體會被重新釋放出

來。它的放氣流量與材料性能、處理工藝以及材料表面狀態(tài)有關。

5、真空系統(tǒng)外大氣通過器壁材料滲透到系統(tǒng)內的氣體。

氣體在固體中也會發(fā)生溶解、滲透。因此大氣通過容器壁結構材料會向真空系統(tǒng)內滲透部分氣體。這種

滲透在一般的金屬系統(tǒng)下可以不考慮，但部分應用在玻璃真空系統(tǒng)或薄壁金屬系統(tǒng)會需要考慮滲透氣體

帶來的影響。

以上5個方面就構成了真空系統(tǒng)的總的抽氣負荷。